RF Power Supply Non Conductive Film Magnetron Sputtering Coater

Input Power

1.220VAC 50/60Hz, single phase
2.2000W  (including pump)

Source Power

1.Two sputtering power sources are integrated into one control box

2. DC source: 500W for coating metallic materials

3.RF source: 500W with automatching for coating non-metallic materials 

4.Compact 300 RF source is available at extra cost

Magnetron 

Sputtering  

Head

1.Two 2" Magnetron Sputtering  Heads with water cooling jackets are included  
 One is connected to RF power supply for no-conductive materials  
 Another is connected to DC sputtering power source for coating metallic materials

2.Target size requirement: 2" diameter

3.Thickness Range: 0.1 - 5 mm for both metallic and non-conductive targets

4.One stainless steel and one Al₂O₃ ceramic targets are included for demo testing

5. Head Water Cooling: 10ml/min water flow required, and one 16ml/min digitally controlled 

recirculating water chiller is included for cooling both magnetron sputtering heads

6. Customized coater: Two DC head without RF sputtering,  RF head without DC 

Sputering, 3 heads (3 DC/ 2DC+1RF/ 3RF) are available upon request.

Vacuum 

Chamber

1.Vacuum Chamber: 300 mm Dia x 300 mm height, made of stainless steel

2.Observation Window:  100 mm diameter

Sample Holder

1.Sample holder size: 140mm dia. for. 4" wafer max

2.Sample holder rotation speed is adjustable: 1 - 20 rpm for uniform coating

3.The holder temperature is adjustable from RT to 500°C Max with accuracy +/- 1.0 °C

Gas Flow 

Control

1.Flow rate:  200 ml/min max.

2.Flow rate is adjustable on the 6" touch screen control panel

Vacuum Pump 

Station

High speed turbo vacuum pump system is directly installed on the vacuum chamber
 for max. vacuum level 

Heavy duty dual stage mechanical pump is connected to turbo pump for faster 

pump speed

Mobile pump station is included and the compact sputtering coater can be put on 

top of station

Max. vacuum level: 10^-6 torr with chamber baking     

Thickness 

Monitor

One Precision quartz thickness sensor is built into the chamber to monitor coating 
 thickness with accuracy 0.10 Å  

LED Display Unit outside chamber can:

Input material to be coated according to data base included

Display total thickness coated and coating speed

 5 pcs quartz sensors (consumable) are included 

Water cooling is required

Water Chiller

One digital temperature controlled recirculating water chiller is included. 

Refrigeration range: 5~35 °C

Flow rate: 16 L/min

Pump pressure: 14 psi

Overall 

Dimensions

L6600mm× W660mm× H1200mm

Net Weight

160 kg

Warranty

One years limited warranty with lifetime support